技术特点  Features   

· 产能：600 片/ 批， 14400 片/ 幼时（210 硅片）
；720 片/ 批， 17280 片/ 幼时（182 硅片）
。

· 兼容背面刻蚀抛光及单晶背面造绒工艺
。

· 支持多种增长剂技术
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· 支持最薄120μm 硅片
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· 干净区域干燥，自干净系统
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· 急剧换液，在线换液
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· 支持MES、RFID 及选配在线称沉职能
。