技术特点  Features  

· 产能：600片/批，14400片/幼时（210 硅片）；720片/批，17280片/幼时（182硅片）。

· 工艺槽循环量可调。

· 造绒金字塔均匀，刻蚀深度可调。

· 支持最薄120μm 硅片。

· 干净干燥区域，自干净干燥系统。

· 低H₂O₂ 亏损。

· 急剧换液，在线换液。

· 支持MES、RFID 及选配在线称沉职能。