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管式低压淀积炉

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管式低压淀积炉

  技术特点  Features  

· 低压与热壁工艺个性，成膜均匀性、致密性好。

· LPCVD工艺个性，基片密排对成膜速度影响幼，单管装片量大。

· 更多温区设置，靠得住保障片间均匀性。

· 独立调节分段进气，添补气流耗尽效应。

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