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管式等离子体淀积炉

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管式等离子体淀积炉

  技术特点  Features  

· 靠得住电极接触,有效削减粉尘、降低高频报警频次。

· 单一靠得住自动高低舟机构,提升设备守护空间与方便。

· 活动部件单面装置守护,削减设备背靠背布局占地面积的同时不影响设备守护难度。

· 高速安稳整体模组推舟机构。

· 辅助加热专利技术。

· 急剧镀膜工艺技术。

· 自主知识产权MES软件、中央推算机集中节造系统。


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