板式等离子体加强化学气相沉积设备
板式等离子体加强化学气相沉积设备
技术特点 Features
· 最幼反射功率的急剧启辉、均匀不变大面积成膜。
· 成熟不变的多点馈入射频RF 技术、技术兼容性和产品升级。
· 腔体内反映间距可调、矫捷的工艺窗口。
· 大产能低成本、定造设备结构。
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全自动整片卷纸印刷机
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