技术特点 Features  

· 设备？榛杓，内部类似结构零部件高度统一，便于备件治理
。

· 选取触摸屏+PLC 节造，操作界面简洁了然
。

· 选取幼舟流转装卸逻辑，产能高: ≥ 8000 片/ 幼时(182mm 硅片)
。

· 配置机台内部最高权限暂停职能，充分提升机台安全冗余
。

· 可配置行业主流检测设备（选配职能），提升造成良率
。

· 可搭配AGV，RFID 实现花篮和工艺载具全自动调度追忆，并且可通过链接MES 实现花篮和工艺载具车间级治理和调度
。