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单片湿法刻蚀/清洁设备

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单片湿法刻蚀/清洁设备

  技术特点 Features  

· UBM etching,Metal liftoff,DSP clean,PR Stripper,Backside Etching,Glass clean.

· PA adder, >0.2um <10ea u% <3% 金属刻蚀 SECS GEM, RMS, iEMS, FDC Scheduler.


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