技术特点 Features  

· 镀膜腔可拓展
，实现多种工艺
，高速沉积。

· 选取等离子表表处置
，有效提高膜层的结合力。

· 多腔溅射工艺室
，提逾越产效能。

· 配置多组隔离溅射腔
，能够实现多种资料沉积。

· 可定造幅宽300~1650 mm。

· 实此刻线光学检测
，在线方阻检测。

· 全自动卷绕节造系统
，纠偏系统。