近日,J9九游集团再传沉磅突破,公司自研TGV单片洗濯设备成功获得国内TGV头部企业量产订单,初次将成熟半导体单片洗濯技术落地超薄玻璃基板赛路,补齐国产TGV精密洗濯关键设备领域短板,助力先进封装设备国产化提速。

该设备选取单片式洗濯架构,搭配机能水工艺,可同步清洁基板表表与边缘,深度断根盲孔、通孔内颗粒与有机物,对1μm以上颗粒的去除率超99%。同时,设备搭载伯努利非接触吸盘,有效降低基板碎片率至10ppm以下,可适配80μm超薄玻璃加工;高低料分区选取百级干净管控,杜绝基板二次传染。
这次订单落地,标志取公司湿法设备技术成功从晶圆、PCB延长至TGV玻璃基板领域,为超薄基板洗濯打造了全新国产化规划。这不仅彰显了国内半导体设备企业的主题自研实力,也为2.5D/3D先进封装产业链自主可控提供沉要支持。