近日,公司传来沉磅喜讯——初次将微纳米气泡水洗濯工艺利用于半导体/先进封装洗濯设备,且该设备已成功出货至海表,为全球高端器件精密化洗濯交付全新解决规划,彰显中国半导体设备企业的技术硬实力。

随着先进封装技术迭代,半导体器件结构愈发精密,传统洗濯工艺已难以适配高端需要。公司深耕创新,将微纳米气泡水技术与洗濯设备深度融合,打造出兼具高效、环保与精准优势的产品,实现高端设备出海突破。
设备主题优势可拆解为两大维度,精准适配高端需要:
一、高效环保洗濯
以微纳米气泡水为主题介质,无需化学试剂,绿色环保;依附其表表电荷、低表表张力个性,可精准去除带电微粒、深刻渺小结构清洁,搭配特定气源产生的羟基自由基,能高效断根有机传染,同时预防线路图形坍塌。
二、高精度洗濯能力
可适配TSV、渺小电极等精密工艺,实现AR=10:1高纵横比TSV产品洗濯与刻蚀;能去除28nm级微幼颗粒及金属杂质,50-100nm颗粒去除率超99%,支持双面掩膜同时洗濯,提升效能与一致性。
未来,J9九游集团将持续秉持“技术引领、品质卓越”的理想,深耕半导体先进洗濯领域,持续迭代机能水洗濯技术,以更具创新性、高效性、环保性的解决规划,赋能全球半导体产业升级,突破高端洗濯技术壁垒,推动半导体洗濯领域向绿色化、精密化方向发展,为全球半导体产业高质量发展贡献更多“捷佳”力量。