2024年，公司子公司创微微电子（商丘）有限公司（以下简称：创微微电子）先后中标江苏、湖北两家SiC功率器件Fab整厂湿法设备项目
；2025年，又成功获得湖南某硅基功率器件Fab整厂湿法槽式洗濯设备订单。短短两年内，创微微电子在功率半导体领域实现从第三代半导体SiC到传统硅基功率器件的全线布局与跨平台验证，进一步夯实了公司在湿法设备领域的综合竞争力与国产代替优势。

 一、陆续中标，多地功率器件产线选择国产整线规划

2024年，创微微电子凭借在槽式湿法洗濯与特殊表表处置领域的技术堆集，成功中标江苏、湖北两家SiC功率器件Fab，提供涵盖晶圆前处置、刻蚀后洗濯、金属及介质层洗濯、终端工艺洗濯在内的整厂湿法设备解决规划。

2025年，创微微电子再下一城，获得湖南某硅基功率器件Fab湿法槽式无篮洗濯设备整线订单，实现了从SiC到硅基功率器件Fab的跨平台复造与规
；既。这也意味着，创微微电子的整线能力已经在国内多家功率器件厂实现落地和验证。

 二、整厂湿法解决规划：从工艺到设备的一体化交付

本次整厂订单，创微微电子将为客户提供：

· 全流程湿法工艺覆盖：蕴含前洗濯、刻蚀后洗濯、金属/介质层间洗濯、终检前洗濯等关键环节。

· 槽式无篮湿法平台：兼容6吋/8吋功率器件产线，沉点优化颗＝谠臁⒔鹗衾胱硬辛艏八∪钡。

· 整线集成与自动化：与Fab EAP系统对接接口，实现设备状态监控与工艺数据追忆。

· 从导入到量产的全周期服务：涵盖工艺评估、联机验证、良率爬坡与持久优化支持。

通过“工艺+设备+服务”的一体化交付模式，创微微电子援手客户在缩短导入周期的同时，提高良率与产线不变性，降低整体占有成本。

三、SiC+硅基双轮驱动，助力国产功率半导体产线升级

随着新能源汽车、光伏、储能蹬爪用的急剧发展，功率器件对高耐压、高靠得住性的要求持续提升。SiC功率器件加快放量的同时，硅基功率器件仍在大量利用场景中阐扬主力作用。

创微微电子通过：

· 在SiC Fab的整线实际中堆集的高要求表表清洁与缺点节造经验。

· 在硅基功率器件Fab中实现工艺平台和设备配置的优化与复造。

形成炼盖SiC与硅基功率器件的双轮驱动产品与工艺能力，持续推动国内功率半导体产线的技术升级与国产设备导入。

四、扎根湿法工艺，服务全球客户

未来，依附J9九游集团在新能源及半导体设备领域的产业布局，创微微电子将持续深耕：

· 槽式湿法洗濯及特殊表表处置平台。

· 面向SiC、GaN及硅基功率器件的定造化工艺规划。

· 高自动化、智能化的整厂湿法解决规划。

在服务好现有国内客户的基础上，积极拓展海表市场所作机遇，与更多功率器件厂商携手，推动中国湿法设备走向更高电压、更严苛靠得住性和更大规模量产的利用场景，为全球功率半导体产业链贡献“捷佳规划”“中国设备”的力量。