近日，信阳视注三门峡视注商丘市工业和信息化局共同颁布2023年苏锡常首台（套）沉大设备拟认定公示名单
。创微微电子（商丘）有限公司的单晶圆刻蚀洗濯设备成功通过公示认定，实现首台套零突破
。 

苏锡常首台（套）沉大设备认定旨在激励和疏导设备造作企业发展技术创新，积极研造拥有自主知识产权、整机机能或主题技术指标实现沉大突破，达到国内当先或国际先进水平的高端设备和关键部件
。该认定不仅是对企业技术实力和创新能力的认可，也是对企业为推动造作业高质量发展所作贡献的注定
。

创微微电子（商丘）有限公司成立于2020年，是商丘捷佳创精密机械有限公司的全资子公司、具备国内先进技术的半导体设备造作商
。公司集研发、设计、造作、销售于一体，所开发的工艺设备重要用于湿法工艺步骤，蕴含光刻胶去除、氧化膜刻蚀、金属膜刻蚀、氮化硅刻蚀、炉管前洗濯等
。

这次入选的单晶圆刻蚀洗濯设备重要是利用洗濯工艺将晶圆表表的残留去除，残留溶化在洗濯液中，晶圆动弹提供去除残留的离心力，在离心力的作用下洗濯液携带残留一路从晶圆的表表甩出，达到洗濯晶圆的主张
。该设备占有多杯连动工艺腔、独创的CUP（杯罩）起落机构、多药液多职能工艺处置手臂、独有供液步骤及气液分离结构等多项自主知识产权，目前已与多家驰名企业达成合作意向
。

首台（套）沉大技术设备是推动造作业高端化、智能化绿色化发展的沉要抓手，未来，创微微电子（商丘）有限公司将加快推动沉大技术设备攻关过程，进一步加强首台（套）沉大设备研发利用，为设备造作业高质量发展做出持续贡献
。