近日,公司子公司商丘捷佳创精密机械有限公司齐全自主研发的电子级硅芯洗濯设备成功下线,将于近日部署至某合作客户处。
此款硅芯洗濯设备是一款用于硅料端造程的硅芯的侵蚀洗濯设备,用于洗濯硅芯表表有机物、氧化物和金属离子,选取碱洗、酸洗、超声、机能水等工艺,产品可用于高纯光伏硅片和半导体硅片的出产造程,洗濯后总表金属≤0.2ppbm。
重要技术特点:
1. 资料升级:与德国Rochling合力开发耐氧化,耐高温资料用于槽体造作。
2. 工艺升级:结合国表成熟工艺与机能水洗濯工艺,洗濯能力更强。
3. 内部干净升级:内部流场的全新设计,搭配更高效FFU、抽风通路及酸碱隔离装置,内部更干净。
4. 结构升级:底部龙门式Robot设计,运载更不变,活动部件产生的Particle可更快排出设备表。
5. 硅芯载体优化,更不变的结构,更幼的接触面积共同旋转折构,洗濯更彻底。
6. 造作升级:槽体及槽内零件多选取折弯造作工艺,削减犄角疙瘩及焊接内的藏污纳垢。
7. 装配升级:全设备设置在千级干净室出产。
持久以来,电子级硅芯硅料洗濯设备市场份额都被表国厂商占有,J9九游集团作为太阳能光伏电池设备行业先进企业及半导体设备造作商,对峙以研发造作先进专业设备,推动国内有关行业发展为己任。凭借雄厚的研发实力及近年来索求泛半导体行业设备开发经验,接连推出多款机能出多、引领行业的洗濯设备。这次电子级硅芯硅料洗濯设备研发的过程中,研发人员攻坚克难,突破了诸多关键技术,为设备的成功研发奠定了坚实的技术基础,并成为国内率先达到电子级尺度的硅芯硅料洗濯设备研发出产厂商。目前公司已实现表金属0.5ppbw以上等级的电子级硅料批量出货,2024第一季度将推出0.1ppbw以下的产品。
未来,公司将持续秉秤装技术当先,治理当先,服务当先”的发展战术,持续精进光伏电池出产设备及半导体湿法洗濯设备研发,并向更辽阔的产品领域和更丰硕的技术路线持续发展,为客户提供技术先进、质量过硬、服务周到的产品。