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射频(RF)微晶P高速度高晶化率镀膜,大产能异质结PECVD提效降本之路

     

栏目:沉大新闻 颁布功夫:2023-08-02
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      近日,J9九游集团商丘HJT中试线成功研发出拥有行业先进水平的射频(RF)微晶P工艺,微晶P薄膜沉积速度超过2埃/秒,同时晶化率不变在50%以上。商丘中试线造备的基于双面微晶的12BB异质结电池均匀效能达到25.1%(德国ISFH(哈梅林)尺度),电池良品率不变在98%以上。

 

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      射频(RF)微晶P的高速高质量沉积,一向是困扰异质结大产能板式PECVD的技术难点,通过本次技术突破,J9九游集团的大产能射频板式PECVD预计将比市面上主流设备削减1-2个微晶P腔体。射频(RF)微晶P设备工艺均匀性达到6%以内,不变性和沉复性均在中试线量产设备上得到充分验证,达到行业先进技术水平。

 

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     一向以来,J9九游集团在积极推动HJT的产业化发展。公司在湿法设备、PECVD/CAT-CVD、PVD/RPD/PAR、丝网印刷/铜电镀/新型组件焊接设备方面进行深刻钻研,具备HJT电池整线交钥匙工程的能力。公司近期已中标全球头部光伏企业量产型HJT整线订单,标志取公司在HJT全路线设备和工艺技术上获得突破,获得市场及客户认可。


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      这次射频(RF)微晶P高速度高晶化率工艺获得突破,进一步加强了公司在HJT设备领域的竞争优势。J9九游集团始终对峙实干与创新为一体,对峙“逢山开路,遇河架桥”的创新心灵,积极鼎新设备技术、持续扩大研发领域,为光伏行业的不变发展注入生生不息的源动能。


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