J9九游集团作为太阳能电池设备的先进企业,为实现产业结构优化,提升公司在有关领域的自主创新能力和研发水平,适应产品发展蹊径向半导体设备领域延长,公司的全资子公司商丘捷佳创精密机械有限公司于2019年成立了半导体湿法工艺钻研室,集中国际团队沉点加强对集成电路湿法设备进行研发。随着国度近年来对集成电路的支持力度不休加强、市场的强劲需要、产品研发的推动,商丘捷佳创精密机械有限公司于2020年9月投资成立了创微微电子(商丘)有限公司,专门从事集成电路湿法洗濯工艺设备的研发、出产和销售,设备重要蕴含槽式及单晶圆湿法洗濯设备。
截至目前,公司已获得沉要客户在槽式湿法洗濯设备上的批量订单,并于2021年7月21日成功交付3套集成电路全自动槽式湿法洗濯设备至客户进行大批量出产。同使佚在设计造作中的设备还蕴含了用于MicroLED、第三代化合物半导体及集成电路IDM厂的槽式洗濯设备及有关从属设备,涵盖了集成电路200mm以下近70%湿法工艺步骤,蕴含有光刻胶去除、氧化膜刻蚀、金属膜刻蚀、炉管前洗濯及有机溶剂洗濯等,占有Cassette 与Cassette less 两种类型,覆盖晶圆尺寸从100mm~200mm。
本次首批半导体洗濯设备的成功交付,实现了公司在战术路线上的再次超过,从光伏设备设计及造作往泛半导体及半导体行业的拓展,也将成为国度集成电路设备国产化新的主力军。
