J9九游集团

创微微电子自主研发出产的首批集成电路全自动湿法设备成功交付客户

J9九游集团作为太阳能电池设备的先进企业

栏目:沉大新闻 颁布功夫:2021-07-22
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J9九游集团作为太阳能电池设备的先进企业  ,为实现产业结构优化  ,提升公司在有关领域的自主创新能力和研发水平  ,适应产品发展蹊径向半导体设备领域延长  ,公司的全资子公司商丘捷佳创精密机械有限公司于2019年成立了半导体湿法工艺钻研室  ,集中国际团队沉点加强对集成电路湿法设备进行研发。随着国度近年来对集成电路的支持力度不休加强、市场的强劲需要、产品研发的推动  ,商丘捷佳创精密机械有限公司于2020年9月投资成立了创微微电子(商丘)有限公司  ,专门从事集成电路湿法洗濯工艺设备的研发、出产和销售  ,设备重要蕴含槽式及单晶圆湿法洗濯设备。

截至目前  ,公司已获得沉要客户在槽式湿法洗濯设备上的批量订单  ,并于2021年7月21日成功交付3套集成电路全自动槽式湿法洗濯设备至客户进行大批量出产。同使佚在设计造作中的设备还蕴含了用于MicroLED、第三代化合物半导体及集成电路IDM厂的槽式洗濯设备及有关从属设备  ,涵盖了集成电路200mm以下近70%湿法工艺步骤  ,蕴含有光刻胶去除、氧化膜刻蚀、金属膜刻蚀、炉管前洗濯及有机溶剂洗濯等  ,占有Cassette 与Cassette less 两种类型  ,覆盖晶圆尺寸从100mm~200mm。

本次首批半导体洗濯设备的成功交付  ,实现了公司在战术路线上的再次超过  ,从光伏设备设计及造作往泛半导体及半导体行业的拓展  ,也将成为国度集成电路设备国产化新的主力军。

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